真空泵浦型號維修包
IWATA 型號 ISP-50 ISP-90 ISP-250 ISP-500C ISP-1000C
ULVAC 型號   DIS-90 DIS-251 DIS-501    
EDWARDS 型號     ESDP-12 ESDP30
GVSP-30
   
 LEYBOLD 型號   SC5D SC15D SC30D SC60D  
Varian-Agilent 型號     DS-300 DS-600    
             
IWATA 型號 DVSL-100 DVSL-500C        
ULVAC 型號 DISL-101 DISL-502        
IWATA ISP Series
ULVAC DIS Series