真空泵浦型號維修包
IWATA 型號 ISP-50 ISP-90 ISP-250 ISP-500C ISP-1000C
ULVAC 型號 　 DIS-90 DIS-251 DIS-501 　 　
EDWARDS 型號 　 　 ESDP-12 ESDP30
GVSP-30		 　 　
 LEYBOLD 型號 　 SC5D SC15D SC30D SC60D 　
Varian-Agilent 型號 　 　 DS-300 DS-600 　 　
　 　 　 　 　 　 　
IWATA 型號 DVSL-100 DVSL-500C 　 　 　 　
ULVAC 型號 DISL-101 DISL-502 　 　 　 　
IWATA ISP Series
ULVAC DIS Series