特性

■ 寬範圍測量 - 寬壓力測量範圍從大氣壓到高真空範圍（10 + 5到5×10-8 Pa，760到3.75×10-10 Torr，1013到5×10-10 mbar）。 （當SPU和SAU一起使用時）
■ 可以連接具有不同測量範圍的測量頭 - 使用多電離測量儀（正在申請專利），根據使用情況選擇測頭。
■ 精確測量大氣壓力 - 輕鬆準確地確認大氣壓力（當SAU一起使用時）
■ 低環境負擔 - 只需更換失效的測量頭，即可降低運行成本
■ 可視性的改進 - 使用高度可見的LED進行錯誤驗證
■ 維護 - 輕鬆更換傳感器頭
■ 測量值輸出信號 - 0至10V的壓力輸出（記錄輸出）
■ 控制輸出信號 - 3個設定值輸出（僅限SH2-1）
■ 串行通信 - RS232C / RS485通信（僅限SH2-2）
■ 適用標準 - 符合嚴格的CE標準

應用

■ 高真空工藝中的過程控制，例如光伏生產，FPD，半導體，光學和電子零件製造系統
■ 高真空製造系統中的極限壓力測量
■ 高真空和超高真空設備的壓力測量