M-11
SENSOR HEAD
SENSOR HEAD
大範圍的pirani真空測量儀，可測量大氣壓力至5 x 10-2 Pa。
此外，該儀表還可以從傳統控制器中移除控制和顯示面板，僅保留最低限度的必要功能，從而節省成本和空間。
此外，該儀表還可以從傳統控制器中移除控制和顯示面板，僅保留最低限度的必要功能，從而節省成本和空間。
特性
■ 從大氣壓到5 x 10-2 Pa的測量。
■ 組合傳感器和控制器，從而減少電纜，節省空間和能源。
■ 使用DC 24V輸入工作
■ 壓力為0至10V Log輸出
■ LED錯誤驗證可提高可視性
■ 可以一鍵式進行大氣壓力調節和零點調節。
■ 傳感器單元可以輕鬆更換。
■ 2個設定點輸出（SW1-1）
■ RS232C / RS485通訊（僅限SW1-2）
■ 符合CE
應用
■ 低真空工藝中的過程控制，例如半導體，光學和電子零件製造系統。
■ 用於工業設備（如真空爐等）的低真空範圍工藝中的過程控制
■ 低真空系統的過程控制，需要多個處理室，例如在線濺射和單晶片處理設備。
■ 從大氣壓到5 x 10-2 Pa的測量。
■ 組合傳感器和控制器，從而減少電纜，節省空間和能源。
■ 使用DC 24V輸入工作
■ 壓力為0至10V Log輸出
■ LED錯誤驗證可提高可視性
■ 可以一鍵式進行大氣壓力調節和零點調節。
■ 傳感器單元可以輕鬆更換。
■ 2個設定點輸出（SW1-1）
■ RS232C / RS485通訊（僅限SW1-2）
■ 符合CE
應用
■ 低真空工藝中的過程控制，例如半導體，光學和電子零件製造系統。
■ 用於工業設備（如真空爐等）的低真空範圍工藝中的過程控制
■ 低真空系統的過程控制，需要多個處理室，例如在線濺射和單晶片處理設備。
M-11
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大範圍的pirani真空測量儀，可測量大氣壓力至5 x 10-2 Pa。
此外，該儀表還可以從傳統控制器中移除控制和顯示面板，僅保留最低限度的必要功能，從而節省成本和空間。
此外，該儀表還可以從傳統控制器中移除控制和顯示面板，僅保留最低限度的必要功能，從而節省成本和空間。
特性
■ 從大氣壓到5 x 10-2 Pa的測量。
■ 組合傳感器和控制器，從而減少電纜，節省空間和能源。
■ 使用DC 24V輸入工作
■ 壓力為0至10V Log輸出
■ LED錯誤驗證可提高可視性
■ 可以一鍵式進行大氣壓力調節和零點調節。
■ 傳感器單元可以輕鬆更換。
■ 2個設定點輸出（SW1-1）
■ RS232C / RS485通訊（僅限SW1-2）
■ 符合CE
應用
■ 低真空工藝中的過程控制，例如半導體，光學和電子零件製造系統。
■ 用於工業設備（如真空爐等）的低真空範圍工藝中的過程控制
■ 低真空系統的過程控制，需要多個處理室，例如在線濺射和單晶片處理設備。
■ 從大氣壓到5 x 10-2 Pa的測量。
■ 組合傳感器和控制器，從而減少電纜，節省空間和能源。
■ 使用DC 24V輸入工作
■ 壓力為0至10V Log輸出
■ LED錯誤驗證可提高可視性
■ 可以一鍵式進行大氣壓力調節和零點調節。
■ 傳感器單元可以輕鬆更換。
■ 2個設定點輸出（SW1-1）
■ RS232C / RS485通訊（僅限SW1-2）
■ 符合CE
應用
■ 低真空工藝中的過程控制，例如半導體，光學和電子零件製造系統。
■ 用於工業設備（如真空爐等）的低真空範圍工藝中的過程控制
■ 低真空系統的過程控制，需要多個處理室，例如在線濺射和單晶片處理設備。
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