ION GAUGE SENSOR HEAD, WIT-G1⌀18
ULVAC VACUUM GAUGE SENSOR HEAD
傳統的真空計在高真空中進行測量時會遇到精密度問題和壽命短的問題。
為了克服這個問題,ULVAC開發了世界上第一台金屬三極管電離真空計。

這種堅固的儀表在惡劣的環境中以極高的精度運行,可改善精密度並降低儀表的使用壽命。
數量
特性

世界首款金屬型三極管電離真空計(專利申請中)
金屬探針可承受惡劣環境
測量精度提高±10%,靈敏度穩定性極佳
寬壓力測量範圍從大氣壓到高真空(10 + 5到10-5Pa,760到7.75×10-8托,1013到10-7mbar)。(當SPU和SAU一起使用 時)
可以連接具有不同測量範圍的測量頭
利用ULVAC的多電離計系統來測量真空系統的整個範圍
精確測量大氣壓力

應用

高真空工藝中的過程控制,例如OLED和触摸板製造系統。
測量各種工業真空設備(如真空爐)的極限壓力。
含有碳氫化合物的測量氣氛(油基)
ION GAUGE SENSOR HEAD, WIT-G1⌀18
ULVAC VACUUM GAUGE SENSOR HEAD
數量
傳統的真空計在高真空中進行測量時會遇到精密度問題和壽命短的問題。
為了克服這個問題,ULVAC開發了世界上第一台金屬三極管電離真空計。

這種堅固的儀表在惡劣的環境中以極高的精度運行,可改善精密度並降低儀表的使用壽命。
特性

世界首款金屬型三極管電離真空計(專利申請中)
金屬探針可承受惡劣環境
測量精度提高±10%,靈敏度穩定性極佳
寬壓力測量範圍從大氣壓到高真空(10 + 5到10-5Pa,760到7.75×10-8托,1013到10-7mbar)。(當SPU和SAU一起使用 時)
可以連接具有不同測量範圍的測量頭
利用ULVAC的多電離計系統來測量真空系統的整個範圍
精確測量大氣壓力

應用

高真空工藝中的過程控制,例如OLED和触摸板製造系統。
測量各種工業真空設備(如真空爐)的極限壓力。
含有碳氫化合物的測量氣氛(油基)
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